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电子行业超纯水 工程


    半导体、集成电路 芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、光盘、镀膜玻璃、 导电玻璃、各种电子器件、微 电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水及超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质

详细介绍

»电子行业超纯水 生产线典型工艺流程 
电子行业制备超纯 水的工艺大致分成以下几种
1、采用离子交换树脂 制备超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:
   
●源水(箱)  →源水泵→机械过 滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→阳 床→阴床→混床(单级或双级)  →纯水箱→纯水泵 →后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理 设备与离子交换设备进行组合的方式,是比较经济和流行的一种方式,其基本工艺流程为:
   ●源水(箱)  →源水泵→机械过 滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→反 渗透设备→中间水箱→  混床(单级或双级)  →。。。。。。→ 用水点
 A、源水()→源水泵→机械过 滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→高压泵→反渗透装置 (根据源水水质可 设单级或双级)→中间水箱→  混合离子交换器(单级或双级)  →终端过滤器→产品水箱→用水 点
 B、源水(箱)→源水泵→机械过 滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→高压泵→反渗透装置(根据源水水质可 设单级或双级)→中间水箱→  混合离子交换器(单级或双级)  →产品水箱→纯水泵→核级树脂→终端过滤 器→用水点
3、采用反渗透水处理 设备与电去离子( EDI)设备进行搭配的 的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:
   ●源水(箱)  →源水泵→机械过 滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→原 水箱→反渗透设备(根据源水水质可 设单级或双级)中间水箱→  电去离子( EDI)→纯水箱→纯水 泵→后置过滤器→用水点
 A、源水(箱)→源水泵→机械过 滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→高压泵→反渗透装置(根据源水水质可 设单级或双级)→中间水箱→  EDI→产品水箱→用水 点
 B、源水(箱)→源水泵→机械过 滤器→活性炭过滤器→软水器(根据水的硬度来选用)→精密过滤器→高压泵→反渗透装置(根据源水水质可 设单级或双级)→中间水箱→  EDI→产品水箱→纯水泵→核级树脂→终端过滤 器→用水点
实际工作中根据源 水水质和出水要求适当取舍或添加,确定工艺!

»三种制备电子工业 用超纯水的工艺比较
    目前制备电子工业 超纯水的工艺基本上是以上三种,其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面:
1第一种采用传统的 离子交换树脂其优点在于初次投资少,占用的地方少,但缺点就是需要经常进行离子再生,耗费大量酸碱,而且对环境有一定的破坏。
2第二种采用反渗透 +离子交换设备,其 特点为初次投资比采用离子交换树脂方式要稍高,但离子再生周期相对要长,耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。是目前比较经济与流行的一种工艺。
3第三种采用反渗透 作预处理再配上电去离子( EDI)装置,这是目前 制取超纯水最先进,最环保的的工艺,不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水,对环境没什么破坏性。其缺点在于初次投资相对以上两种方式过于昂贵。
»我们公司生产的电子级超纯水设备  特点
    设备通常由机械过 滤器,活性碳过滤器,钠离子软水器、精密过滤器等构成前期预处理系统、RO反渗透主机系统、 离子交换混床系统或EDI电脱盐系统等构成 主要设备系统。水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真 正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。
»电子行业超纯水 设备  应用范围
   1、半导体材料、器 件、印刷电路板和集成电路;
  
2、超纯材料和超纯 化学试剂;
  
3、实验室和中试车 间;
  
4、汽车、家电表面 抛光处理;
  
5、光电产品;
  
6、其他高科技精微 产品;

 

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